讲座题目：甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器

主办单位：信息学院

主讲人：胡鹏程

时  间：2021年07月18日19:00-20:30

地  点：M108

主讲人简介： 

胡鹏程，哈尔滨工业大学长聘教授，国家级青年人才，国家技术发明二等奖获得者。任超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室副主任、方向带头人，哈工大超精密光电仪器工程研究所副所长，中国计量测试学会计量仪器专业委员会秘书长。

围绕超精密激光测量与光电仪器方向，从基础研究、关键技术突破到仪器研制测试，承担国家科技重大专项课题、技术基础项目、国家重大工程项目、国家自然科学基金国际合作研究项目、国家自然科学基金重大研究计划课题、国家自然科学基金面上项目等，项目经费7000余万元；发表SCI检索论文55篇，出版编著1部，授权中国/美国/日本发明专利86项；获国家技术发明二等奖、中国计量测试学会科学技术进步(基础类)一等奖、国际会议优秀/杰出论文奖、国际期刊审稿杰出贡献奖等。

报告简介：

甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备发展与前沿研究的重大核心基础技术：作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，其直接决定了装备所能达到的极限运动精度与整体性能；作为溯源精度最高的长度计量测试仪器，其准确统一全国相关量值，支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。随着高端装备发展与前沿研究的迅猛发展，其甚多轴、高速、超精密测量需求越加显著，使激光干涉测量技术发展不断面临新的挑战。为此，开展了甚多轴高速超精密激光干涉测量技术研究，突破了激光稳频、多轴干涉镜组、干涉信号处理等多项关键技术，研制成功系列超精密激光干涉测量仪器，并在微电子装备、国家基准装置、德国PTB超测量装备等成功应用，为我国高端装备发展与前沿研究奠定重大共性技术基础。

在技术突破的同时，在仪器集成测试及相关高端专业人才培养方面取得了重要成果。