讲座题目：超精密三维显微测量技术与仪器

主办单位：信息科学与工程学院

主讲人：刘俭

时间：2021年7月22日 19:30-21:00

地点：M102

主讲人简介：

刘俭，哈尔滨工业大学仪器学院院长，中青年科技创新领军人才，第八届国务院学位委员会学科评议组成员，国家NQI重点研发计划实施方案及指南专家，中国仪器仪表学会常务理事及显微仪器分会副理事长，中国计量测试学会常务理事及计量测试仪器专业委员会副主任委员，第一完成人获国家技术发明二等奖1项。

报告简介：          

在微器件与微系统制造检测中，光学显微测量存在结构敏感性和材料敏感性，是现有光学显微测量技术与仪器难以克服的原理瓶颈，本报告介绍一种中介层荧光共焦显微测量技术，采用一种测量原理同时克服光学三维显微测量中的反射逃逸效应、散射振荡效应和透波干涉干涉效应，相关仪器技术为国防重大科技工程提供了超精密测量仪器保障；另外，报告还将介绍一种三维测量的定值与仪器校准方法，用于克服三维显微测量定值的蝠翼效应影响，判定光学显微仪器三维测量中的有效表征能力，该方法用于制定我国首部共焦显微镜国家标准，同时被ISO组织采纳，填补国际标准计量的理论空白。